SIC衬底瑕疵双面检测

碳化硅基板检测 SIC衬底检测 SIC双面检测

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福建省厦门市
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充足
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产品简介

1、全自动化检测：可按客户需求满足全自动化晶圆检测需求，并串联客户信息系统 2、上下两面同时检测：针对部分产品对同时对晶圆上下两个表面检出，以保证上下两面缺陷检出，并缩短检测时间 3、自主研发的照明方案：针对大尺寸晶圆表面的细微瑕疵，采用高分辨率成像系统，配以专项优化的明暗成像方案，有效提高缺陷的成像的信噪比，实现稳定检出细微缺陷。

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型号参数

检测系统：4K高速线扫相机-支持彩色成像	洁净等级：整机设备百级洁净	检测软件：支持标准晶圆检测、查阅、叠片、统计、通讯上抛	像素精度：1.4um
最小检出：4um	单片检测TT：90S/6寸片	设备尺寸：L:1400mmW：1800mmH1800mm	重量：1500kg

产品详情

适用产品：外延片、衬底片、晶圆片
检测项目：边缘崩边及弱崩，正反面裂纹，正反面划伤，正反面脏污及痕渍，正反面灰尘，多晶异色

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